클린룸 대응 VSW 시리즈

앱솔루트 서보모터를 사용하며 정확하고 안정성이 높은 시리즈

다양한 타입의 그립퍼 적용으로 여러 작업환경에서 워크 반송에 적합한 시리즈

특징

정밀한 동작과 최적화 된 모션으로 신속하고 안전한 웨이퍼 핸들링 가능

설비의 설치 환경에 따라 베이스타입, 플랜지 타입 선택 가능

높은 신뢰성과 유지 보수 편의성을 제공

커버를 열지 않고 엔코더 베터리 교체 가능

직관적인 티칭팬던트 UI 구성